在芯片制造過(guò)程中，無(wú)塵車間的原料接收區(qū)是保障生產(chǎn)質(zhì)量的第一道防線。本文合景凈化工程公司將詳細(xì)闡述芯片廠房無(wú)塵車間裝修原料接收區(qū)的設(shè)計(jì)要點(diǎn)。

一、設(shè)計(jì)原則

       原料接收區(qū)作為無(wú)塵車間的入口，必須滿足相應(yīng)的潔凈度要求。根據(jù)芯片制造工藝的需求，通常需要達(dá)到百級(jí)或千級(jí)的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。合理的氣流組織可以有效控制污染物的擴(kuò)散，保證原料接收區(qū)的潔凈度。通常采用上送下回的氣流組織形式，并設(shè)置高效過(guò)濾器以過(guò)濾空氣中的顆粒物。為了避免人員活動(dòng)對(duì)原料造成污染，原料接收區(qū)應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的人流和物流通道，并采取相應(yīng)的隔離措施。

二、功能分區(qū)設(shè)計(jì)

       芯片廠房無(wú)塵車間裝修合理的功能分區(qū)是原料接收區(qū)高效運(yùn)作的基礎(chǔ)，一般可劃分為以下幾個(gè)關(guān)鍵區(qū)域。

       卸貨與初步檢查區(qū)需靠近車間外部的卸貨平臺(tái)，設(shè)置防雨、防塵的卸貨棚，地面采用耐磨、防滑、易清潔的環(huán)氧樹脂地坪，便于叉車等搬運(yùn)設(shè)備作業(yè)。

       凈化處理區(qū)是接收區(qū)的核心區(qū)域，用于去除原料外包裝的污染物。根據(jù)原料特性不同，可設(shè)置真空清潔設(shè)備、高壓風(fēng)淋裝置或?qū)Ｓ玫耐獍b清潔機(jī)。

       暫存區(qū)用于短期存放經(jīng)過(guò)凈化處理的原料，需根據(jù)原料的存儲(chǔ)條件進(jìn)行設(shè)計(jì)。對(duì)于有恒溫恒濕要求的原料，暫存區(qū)應(yīng)配備空調(diào)和除濕設(shè)備，溫度控制在20-24℃，相對(duì)濕度控制在45%-55%。

       緩沖區(qū)是連接暫存區(qū)與車間內(nèi)部的過(guò)渡空間，通常設(shè)置氣閘室或傳遞窗。氣閘室可實(shí)現(xiàn)人員和物料的雙向傳遞，通過(guò)氣壓控制防止污染物擴(kuò)散;傳遞窗則用于小型物料的傳遞，具備紫外線消毒功能，確保物料在傳遞過(guò)程中不受污染。

三、關(guān)鍵要素

       根據(jù)潔凈度要求選擇合適的過(guò)濾器和風(fēng)機(jī)，并合理布置送風(fēng)口和回風(fēng)口。地面和墻面材料應(yīng)選擇防塵、易清潔、耐腐蝕的材料。照明系統(tǒng)應(yīng)選擇無(wú)塵燈具，并合理布置燈具位置，以提供足夠的照明強(qiáng)度和均勻的照明效果。物流設(shè)備應(yīng)選擇防塵、易清潔的材料，并合理布置以減少人員與原料的直接接觸。

四、細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)要點(diǎn)

       芯片廠房無(wú)塵車間裝修密封與隔離方面，所有門窗、墻壁縫隙需進(jìn)行密封處理，防止外界空氣滲入;不同區(qū)域之間的隔斷采用不銹鋼或鋼化玻璃材質(zhì)，既保證隔斷的堅(jiān)固性和潔凈度，又便于觀察內(nèi)部作業(yè)情況。

       清潔與維護(hù)便利性設(shè)計(jì)方面，地面與墻面的交界處采用圓弧角處理，避免衛(wèi)生死角;凈化處理區(qū)和暫存區(qū)的設(shè)備布局應(yīng)預(yù)留足夠的清潔通道，便于日常清潔和設(shè)備維護(hù)。

       照明與標(biāo)識(shí)設(shè)計(jì)方面，各區(qū)域的照明亮度應(yīng)達(dá)到300-500勒克斯，采用防塵、防水的潔凈燈具，避免眩光影響操作;區(qū)域標(biāo)識(shí)應(yīng)清晰明確，采用耐腐蝕的材料制作，確保長(zhǎng)期清晰可見。

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